16K 高解析度線掃相機+自動對焦模組
產品分類：數位轉型與系統整合
廠商名稱：睿怡科技股份有限公司
攤位號碼：N1031
產品特色
整合 16K 高解析度線掃相機+3倍高倍率鏡頭+自動對焦模組，加上高精度線型移動及真空吸附平台，結合 AI 深度學習演算法，可有效提供以下資訊
- 表面瑕疵
- 量測尺寸
- 對位精度
- 可選配近紅外線模組，檢查 Wafer 晶圓 內部瑕疵
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