TCP150高效轉寫壓印自動化系統
微檢測系統
光罩修補機
電子束蒸鍍設備
化合物半導體蝕刻系統
黃光微影塗佈及顯影機
有機化學氣相沈積設備(MOCVD)
六吋碳化矽長晶爐 (導電型 4H 碳化矽長晶技術)