線馬中空平台
產品型號：LXY Series
產品分類：機器手臂
廠商名稱：東佑達自動化科技股份有限公司
攤位號碼：N314
產品特色
東佑達開發奈米級中空定位平台 LXY，不僅擁有高穩定結構設計，奈米級伺服控制水準，並透過軟體方案，提升整體設備精度，完美呈現機、電、軟體高度整合能力，並透過幾項特點，提供具備市場競爭力之方案，滿足半導體設備提升需求。
(1) 奈米級定位：適用高階精密檢測儀器，達成各項精細檢測任務，以符合產業應用持續升級之趨勢。
(2) 大中空設計：大中空型設計，可進行雙面加工，放入光學檢查機構，適用於各種需要通過平台進行傳輸或連接場合，主要應用在雙面測量檢測、生物樣片加工和觀測、薄膜和油墨厚度測量等需要奈米級定位精度和中空設計的工業領域與科研項目。
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