東佑達奈米系統股份有限公司

TOYO NANO SYSTEM CORPORATION

 

攤位號碼：N713

公司網址：https://www.toyorobot.com/

 

廠商介紹

 

東佑達集團奈米系統（TOYONANO）

氣浮單軸平台（LBT），採用了空氣軸承氣浮技術，不僅零磨耗且無須潤滑油零維護，能夠實現卓越的平滑運動速度漣波可達0.1％/100/s，重複定位精度±0.25μm/300mm，適用於需要高精度定位的應用，特別是在晶圓製造的光學和檢測系統。

相關的奈米定位級適用於半導體製程，應用於AOI檢測系統中，能夠偵測各種缺陷，包括晶圓表面上的空隙、凹坑和刮傷，TOYONANO奈米平台亦適合潔淨室環境，為半導體製造業提供更高水平的潔淨室適用性，另外也適用於Micro LED、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割等相關製程。

 

 

 

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