東佑達集團奈米系統（TOYONANO）
廠商名稱：TOYO AUTOMATION CO., LTD.
發佈日期：2024-03-20
攤位號碼：N314
東佑達集團奈米系統（TOYONANO）
東佑達奈米系統即將在TOUCH展中展出：氣浮單軸平台（LBT），採用了空氣軸承氣浮技術，不僅零磨耗且無須潤滑油零維護，能夠實現卓越的平滑運動速度漣波可達0.1％/100/s，重複定位精度±0.25μm/300mm，適用於需要高精度定位的應用，特別是在晶圓製造的光學和檢測系統中。
XY中空定位平台（LXY）是半導體檢測系統的重要組件，大中空設計，可進行雙面加工，放入光學檢測機構，具有卓越的動態性能，最高線速度可達0.6m/s，加速度0.5G，低阻力摩擦設計，速度漣波可達0.4％/100/s，能夠實現高速光柵掃描，確保檢測的高精度和準確性。
另外，精密升降定位平台（ZH）在晶圓設備中發揮著關鍵作用，創新楔型結構，不僅緊湊並可實現精密的升降Z軸行程10mm作動，重複定位精度±1μm，能夠實現升降運動的高度控制，確保製程的精密度，最大負載可達80kg，超高精度鑄鐵傳動模組（LTS/U）採用高剛性本體鑄鐵技術可減低振動，降低熱膨脹造成的精度誤差，並降低整定時間，重複定位精度±1μm，實現超高精度的運動控制，滿足半導體行業對高精度定位的需求。
相關的奈米定位級適用於半導體製程，應用於AOI檢測系統中，能夠偵測各種缺陷，包括晶圓表面上的空隙、凹坑和刮傷，TOYONANO奈米平台亦適合潔淨室環境，為半導體製造業提供更高水平的潔淨室適用性，另外也適用於Micro LED、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割等相關製程。
東佑達集團致力於製程的更精密和更智能化，期冀協助半導體產業提高生產效率同時確保最高品質水平，與半導體業界共同推動半導體技術發展。
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